PNG  IHDRVSiC pHYsttfx IDATxX             @ IDAT                                   vW. IDAT                          \m IDAT                               @ IDATX                           Qm IDAT "                                             ZJ IDAT                                            3 IDAT                                                     w IDATX                                                    f[ IDAT                                                     15 IDAT      #(                                                9т IDAT                                              (l IDATX                                         ]ۣ7 IDAT                                 1 IDAT                                   !''                       1k IDAT,10   "                                                                ,78 IDAT    X                                                S IDAT                                                         ;\ IDAT                                                                              "+&               &2E IDAT  #%$           !                                                                            =` IDAT   &-)        X                             " "                  '                                                                     LL[ IDAT #&'%                                                                                                                                                                0zNM IDAT                                                             !              IDAT          %!            %)(39              #( %                                                                           5,l9IDAT             UD@ZIENDB`